芯片说到底是高科技领域的硬骨头,谁掌握了谁就占了上风。在中美科技较量越来越白热化的当下,一家中国半导体设备企业突然爆出核心技术被挖角的新闻,瞬间把大家的目光拉了过去。
技术骨干悄然跳槽硅谷
屹唐股份这家公司,成立于2004年,主打集成电路制造中的晶圆加工设备。2016年,他们收购了美国Mattson Technology公司,拿到了等离子体和热处理的关键技术。花了近十年时间消化吸收,再加上自家创新,搞出了一套完全自主的知识产权体系。这套技术里,等离子体源和晶圆表面处理是重中之重,能把普通气体变成百万度高温的粒子流,在晶圆上刻出纳米级精细结构,精度高到头发丝的万分之一。
在半导体生产线上,这技术直接卡脖子。要是没有它,7纳米芯片的良率就从60%直线下滑到20%,企业成本蹭蹭上涨,竞争力立马打折。屹唐靠着这些技术,干法去胶设备全球市场份额达34.6%,排第二;快速热处理设备占13.05%,也排第二。产品还进了台积电的5纳米产线,成绩单亮堂堂的。
可偏偏2024年4月,屹唐全资子公司MTI的两名核心工程师突然辞职。这俩人一个管等离子体浓度控制,一个专攻晶圆温度调节,都是技术团队的顶梁柱,签了严格的保密协议,承诺保护公司秘密。结果,他们离职后没多久,就无缝对接进了美国应用材料公司。
这俩工程师加入后,很快就成了应用材料项目里的骨干。应用材料总部在硅谷,资源雄厚,薪水待遇高出不少。中国半导体人才流动本是常态,但这次不一样,他们带的正是屹唐的核心参数和算法。挖角这事儿,在行业里不算新鲜,但涉及国家关键技术,就得敲响警钟了。
专利重合暴露窃密端倪
而工程师跳槽半年不到,2024年10月,应用材料就向中国国家知识产权局递交了一份发明专利申请。发明人栏里,赫然写着那两名前屹唐员工的名字。专业机构一比对,惊人发现这份申请和屹唐的核心技术在37个关键节点上完全吻合。从磁场分布算法到离子浓度阈值,连内部调试细节都一模一样。
屹唐一看不对劲,赶紧收集证据。他们的技术是自家研发的,投入超20亿元,包括人员工资和设备采购。这些钱砸进去,本是为突破国外垄断,现在却可能白费。应用材料通过在中国申请专利,不光占了便宜,还把技术公开披露,等于把屹唐的饭碗砸了。更气人的是,如果专利批下来,屹唐用自家技术反倒可能被指侵权,得交高额许可费。
芯片良率是生产线的命门,参数一变,原本十片晶圆出六片好片,现在可能只剩两片。客户反馈蜂拥而来,试产数据波动大,企业损失直线上升。屹唐的市场优势眼看着被蚕食,全球份额本就来之不易,现在竞争对手拿着相同技术,能轻松复制或小改,抢单子、压价格,屹唐的日子更难过。
而中国半导体设备是产业链上游,卡住了就动弹不得。美国这些年出口管制层层加码,企业清单、实体管制一套接一套,正好赶上中国晶圆厂大扩产。要是核心技术外流,国产化进程就得慢半拍。长江存储这些龙头,本想靠自主设备稳住阵脚,现在技术被窃,产能爬升计划受阻,全球份额目标难保。
维权诉讼守护产业命脉
面对这局面,屹唐没含糊,2025年8月13日,直接向北京知识产权法院提起诉讼。被告就是应用材料,索赔9999万元。这数字不是随便定的,算上了直接损失、技术价值,还有民法典里的三倍惩罚性赔偿。
保密协议原件在手,签字日期清清楚楚,条款写明离职五年内禁泄密。公司从2016年收购Mattson起,研发记录一应俱全,实验报告时间精确。技术比对报告更是杀手锏,37处重合点黑纸白字。屹唐法务团队准备了三个月,材料厚厚一摞,逻辑严丝合缝。
2023年6月,应用材料就先告过MTI,说屹唐挖了他们17名工程师,转移技术路线图。那是第一回合,这次屹唐反诉,等于打了个漂亮的还击战。北京知识产权法院不是吃素的,之前华为告三星专利案就在这儿胜诉,法官懂技术,执法公正。
长远看,中国半导体得筑牢人才防线,完善股权激励,营造创新环境。国家层面上,政策支持力度大,基金注入多,国产设备率稳步上升。屹唐维权成功了,就能重塑壁垒,稳住市场。反之,也得警惕外部压力,继续自主研发,少走弯路。
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